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【真空镀膜机清洗工艺之氮气冲洗】氮气在材料表面吸附时，由于吸附能小，因而吸留表面时间极短.即便吸附在器壁上，也很容易被抽走。利用氮气的这种性质冲洗真空系统，可以dada缩短系统的抽气时间。如真空镀膜机在放入da气之前，先用干燥氮气充入真空室冲刷一下再充入da气，则下一抽气循环的抽气时间可缩短近一半，其原因为氮分予的吸附能远比水气分子小，在真空下充入氮气后，氮分子先被真空室壁吸附了。由于吸附位是一定的，先被氮分子占满了，其吸附的水分子就很少了，因而使抽气时间缩短了。如果系统被扩散泵油喷溅污染了，还可以利用氮气冲洗法来清洗被污染的系统.一般是一边对系统进行烘烤加热，一边用氮气冲洗系统，可将油污染消除。真空镀膜机品牌排行。陕西离子束溅射射频离子源专业生产

    本发明的优点在于：本申请的束径约束器通过驱动组件驱动滑环旋转，以使叶片转动来进行光阑的大小调节，调节方便且调节精度高；而采用包含该束径约束器的束径控制装置进行束径调节时，通过在控制器上输入离子束束径值即可实现光阑大小的调节，无需关闭离子源和打开真空腔体，调节效率高、自动化程度好。附图说明图1为现有技术中采用曲面栅网调节束径的结构示意图。图2为本申请中离子束采用平面栅网的结构示意图。图3为本申请中束径约束器结构示意图。图4为图3的示意图。图5为为图4的进一步示意图。图6为本申请中的叶片结构示意图。图7为本申请中的束径控制装置的示意图。具体实施方式下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，*用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。如图3至6所示为本申请的束径约束器的结构示意图，如图所示，该射频离子源离子束束径约束器，包括底座1、多个叶片2及驱动机构，底座1上设置有可供离子束穿过的中空结构11，多个叶片2设于底座1一端并环绕底座1的中空结构11呈圆周排布。陕西射频离子源批发价格广东真空镀膜机厂家。

国泰真空GTRF-17/GTRF-23射频离子源直流源网灭弧采用特殊保护方式，可以在有效的保护网板的时候不停机，不会导致客户产品报废。栅网采用独特的加工工艺，确保栅网之间的曲率和平行度，网孔的中心距也做精密的调整，使得投射出来的离子束更均匀。射频中和器采用L型接法匹配：匹配速度快，效率高，点火更优。源头和中和器结构经常拆解部分的内六角进行电镀及消气处理，防止拆卸过程卡死，备件及耗品重复利用率高。射频电源及控制部分单独装配在一个电柜内，RF线缆做防辐射和泄漏处理，避免对通讯、控制信号的干扰，同时也做良好的散热处理。

【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子qiang电源。射频离子源是一种高能离子源，可用于各种科学研究和工业应用。

直流电源电压纹波做了二次滤波处理，高压输出的纹波小于50mV，离子源束流的稳定性和重复性较好，镀膜的产品的折射率更稳定。国泰真空射频离子源采用通用的LC高频谐振原理，使用可调电容快速调谐，使整个负载阻抗匹配到50Ώ，从而使功率输出比较大，电离化效率比较高，调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位，并带锁止和记忆功能，以满足负载在不同的真空环境、不同国泰射频离子源采用通用的LC高频谐振原理，使用可调电容快速调谐，使整个负载阻抗匹配到50Ώ，从而使功率输出比较大，电离化效率比较高，调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位，并带锁止和记忆功能，以满足负载在不同的真空环境、不同阻抗快速点火。真空镀膜机日常怎么维护？陕西离子束溅射射频离子源专业生产

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    本申请还涉及一种射频离子源离子束束径控制方法，也即采用上述束径控制装置进行离子束束径控制的方法，包括以下步骤：s1，对真空腔体5进行抽真空；s2，打开离子束发生器7，调整电压电流参数；s3，在控制器6的输入界面中输入离子束束径值；s4，点击控制器6的执行按钮，控制器6向驱动器8发出指令，驱动器8控制驱动机构动作；s5，驱动组件驱动滑环41转动并带动导柱24在导槽42中滑动，叶片2绕固定轴23转动使光阑3大小与输入的离子束束径值一致。下面给出一种采用该方法进行抛光的具体步骤：1、打开离子束抛光系统电源、水冷装置、工作氩气等；2、放置光学元件，采用合适夹具将光学元件固定；3、对真空腔体进行抽真空，保证实验的真空状态，且真空腔体压强需达到×10-3pa以上；4、打开离子源也即离子束发生器，调整好离子源的电压电流等参数；5、根据被抛光元件尺寸及检测后的面形参数情况选择离子束束径，将离子束束径参数输入控制器的计算机控制界面；6、点击控制器的执行按钮，控制器向驱动器发出指令，驱动器控制驱动机构动作；7，伺服电机驱动滑环转动并带动导柱在导槽中滑动，叶片绕固定轴转动使光阑大小与输入的离子束束径值一致；8、控制离子束垂直入射法拉第杯。陕西离子束溅射射频离子源专业生产